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數(shù)字式氣體質(zhì)量流量計SEC-Z512MGX、Z522MGX多用于進口設備的PEVCVD、MOCVD中，我公司提供進口Z514、Z524，保修期1年。

SEC-N122MG質(zhì)量流量控制器Horiba N100$n特點：1、最小流量1sccm，最大流量1000SLM；2、最高精度0.3% ；3、不受壓力影響；3、可選多種數(shù)字通訊：RS485、profibus、cc-link、EtherCAT、DeviceNet。